Растровый интерферометр цифровой ИРЦ-01 предназначен для прецизионных измерений наружных линейных размеров абсолютным методом или путем сличения с концевыми мерами длины (относительным методом), для поверки концевых мер длины 2-го разряда и аттестации пьезоэлектрических линейных координатных столов, работающих в нанометровом диапазоне.
ПРЕИМУЩЕСТВА
1
Высокая точность измерений
2
Хорошая сходимость показаний
3
Калибровка по встроенному внутреннему эталону
4
Постоянный контроль работоспособности по критерию сохранения заданной точности (самодиагностика)
5
Высокая разрешающая способность
Метрологические и технические характеристики
Дискретность отсчета, мкм:
0,01
Диапазон измерений абсолютным методом, мкм:
0…200
Предел допускаемой погрешности при абсолютных измерениях, мкм:
+/-(0,015+0,001L)
Размах показаний при десятикратном арретировании, мкм: